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切片及芯片键合带以及半导体芯片制造方法技术
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文档序号:5409853
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本发明提供下述切片及芯片键合带,在对半导体晶片进行切片、并连同芯片键合膜一起拾取半导体芯片时,能够容易并且确实地拾取半导体芯片。一种切片及芯片键合带,其用于对晶片进行切片来得到半导体芯片,并对半导体芯片进行芯片键合,其中,该切片及芯片键合带...
该专利属于积水化学工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过积水化学工业株式会社授权不得商用。
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