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层叠型半导体器件制造技术
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文档序号:5406456
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本发明提供一种层叠型半导体器件,可以使热分散提高,进一步提高散热效率。本发明是层叠有多个半导体芯片(20-1、20-2)、该半导体芯片各自具有至少一个电路区域的层叠型半导体器件(100),按照伴随着电路区域的驱动从电路区域中放出的热被分散的...
该专利属于株式会社尼康所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社尼康授权不得商用。
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