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本发明提供一种化学机械研磨用水系分散体，其特征在于，含有（Ａ）重均分子量为５００，０００～２，０００，０００且在分子内具有杂环的第一水溶性高分子、（Ｂ）重均分子量为１，０００～１０，０００且具有选自羧基及磺基中的一种的第二水溶性高分子或其盐...
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