下载制造包括衬底和沉积在衬底的一个表面上的层的结构的方法的技术资料

文档序号:5405529

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本发明涉及一种制造用于电子学、光学、光电子学或光伏学的结构(1)的方法,所述结构(1)包括衬底(10)和通过将材料沉积在所述衬底(10)的一个表面上而形成的层(20),其特征在于该方法包括以下步骤:形成包括脆化区的脆化衬底,该脆化区一方面限...
该专利属于S.O.I.TEC绝缘体上硅技术公司所有,仅供学习研究参考,未经过S.O.I.TEC绝缘体上硅技术公司授权不得商用。

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