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一种抛光垫，包括在抛光垫表面上方彼此交叉的抛光单元。固定每个抛光单元以限制其相对于其它抛光单元的横向运动，但在与抛光单元的抛光表面垂直的轴上是可运动的。可将不同密度的抛光单元定位在抛光垫表面的不同区域内。...
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