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具有半导体元件的传感器矩阵制造技术
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文档序号:5397123
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本发明涉及具有半导体元件的传感器矩阵(1)和制造这种器件的过程,其中传感器矩阵包括片状载体层(3)、第一电极排列结构(4)和至少一个第二电极排列结构(10)以及元件排列结构(6)。第一电极排列结构(4)被放置在载体层(3)的表面(2)上,并...
该专利属于纳米识别技术股份公司所有,仅供学习研究参考,未经过纳米识别技术股份公司授权不得商用。
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