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一种装置，其具备：向内部导入四氯硅烷和氢，通过在８００℃以上进行还原反应，生成三氯硅烷和氯化氢的反应生成气体的反应室２；将反应室２内部的反应生成气体导出到外部的反应生成气体导出设备４；以及向反应生成气体导出设备４所导出的反应生成气体中混入氢...
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