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具有增加的有关对准和特征成形的弹性的纳米压印技术制造技术
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下载具有增加的有关对准和特征成形的弹性的纳米压印技术的技术资料
文档序号:5395678
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藉由根据可共同地在可被模制的材料(103)上形成通孔开孔(viaopening)及沟槽压印技术(150)而形成金属化结构,可因省略了传统工艺技术中需要至少一另外的对准工艺,而使工艺复杂性获得显著的降低。此外,亦可藉由提供被适当设计的压印模具...
该专利属于先进微装置公司所有,仅供学习研究参考,未经过先进微装置公司授权不得商用。
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