下载单粒子膜蚀刻掩模及其制造方法、使用该单粒子膜蚀刻掩模的微细结构体的制造方法及通过该制造方法得到的微细结构体的技术资料

文档序号:5395090

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根据构成单粒子膜的各粒子二维最密填充且高精度排列的单粒子膜蚀刻掩模,得到适于防反射体、纳米压印或注射成型用模具的原版的微细结构体。通过包括将溶剂中分散有粒子的分散液滴加到水槽内的液面的滴加工序;通过使溶剂挥发而形成含有所述粒子的单粒子膜的单...
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