单粒子膜蚀刻掩模及其制造方法、使用该单粒子膜蚀刻掩模的微细结构体的制造方法及通过该制造方法得到的微细结构体技术

根据构成单粒子膜的各粒子二维最密填充且高精度排列的单粒子膜蚀刻掩模，得到适于防反射体、纳米压印或注射成型用模具的原版的微细结构体。通过包括将溶剂中分散有粒子的分散液滴加到水槽内的液面的滴加工序；通过使溶剂挥发而形成含有所述粒子的单粒子膜的单粒子膜形成工序；以及将单粒子膜移取到基板上的转移工序的制法，制造单粒子膜蚀刻掩模。在这种掩模，粒子二维最密填充，且由Ｄ（％）＝｜Ｂ－Ａ｜×１００／Ａ定义的粒子排列的偏差Ｄ（％）为１０％以下。其中，Ａ为粒子的平均粒径、Ｂ为单粒子膜中的粒子间的平均间距。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及在微细结构体(防反射体、纳米压印用模具的原版等)的制造中适宜使用的单粒子膜蚀刻掩模及其制造方法，使用该单粒子膜蚀刻掩模的微细结构体的制造方法及通过该制造方法得到的微细结构体，进一步地，涉及纳米压印用模具、纳米压印装置、通过该装置得到的纳米压印物以及注射成型用模具、注射成型装置、通过该装置得到的注射成型物。本申请基于2006年6月30日在日本申请的日本特愿2006-181274号主张优先权，在此援用其内容。
技术介绍
在例如个人计算机等的显示器、橱窗、展示框、各种显示窗等的表面，为了提高可见性，大多设置防反射膜等防反射体。特别是在显示器的领域，出现了液晶显示器、等离子体显示器、背投影仪、FED(场致发射显示器)、OLED (有机EL)等各种方式的FPD (平板显示器)来替代现有的通过曲面显示的CRT (阴极射线管)，同时，其尺寸、用途也从手机、数码相机等小型显示到大型电视等大屏幕显示多种多样，它们中所使用的防反射膜被大力研究并形成产品。此外， 一直以来存在对眼镜、望远镜、显微镜、相机、显示器的部件、分析用光学仪器、工业用光学仪器等中使用的光学透镜表面直接进行防反射加工的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单粒子膜蚀刻掩模的制造方法，其特征在于，包括：将溶剂中分散有粒子的分散液滴加到水槽内的液面的滴加工序；通过使所述溶剂挥发而形成含有所述粒子的单粒子膜的单粒子膜形成工序；以及将所述单粒子膜移取到基板上的转移工序。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：筱塚启，
申请(专利权)人：王子制纸株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]