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本发明涉及制造可旋转溅射靶的方法。该方法包括步骤：提供衬管；通过将至少一个狭长元件围绕所述衬管进行卷绕而在所述衬管上提供靶材；在所述靶材的顶部提供外部材料；对所述外部材料和／或对所述衬管施加热和／或压力；去除所述外部材料。...
该专利属于贝卡尔特股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过贝卡尔特股份有限公司授权不得商用。

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