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铜凸点热声倒装键合方法技术
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文档序号:5393136
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本发明公开了一种铜凸点热声倒装键合方法,在IC芯片焊盘(6)上通过铜线键合方法制作多个铜凸点(2),将带有铜凸点(2)的芯片(3)倒扣于基板(1)上,从芯片(3)上施加超声能(5)和压力(4),从基板(1)底上施加热能(8),完成铜凸点的热...
该专利属于中南大学所有,仅供学习研究参考,未经过中南大学授权不得商用。
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