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本发明公开了一种特别是用于微光刻技术的光学成像装置，其包括用于接收包括投影图案的掩模的掩模装置、带有光学元件组的投影装置、用于接收衬底的衬底装置以及浸没区。该光学元件组适合于将投影图案投影到衬底上，并且包含多个光学元件，其中包括浸没元件，衬...
该专利属于卡尔蔡思SMT股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡思SMT股份公司授权不得商用。

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