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缺陷修复装置、缺陷修复方法、程序及计算机可读记录介质制造方法及图纸
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下载缺陷修复装置、缺陷修复方法、程序及计算机可读记录介质的技术资料
文档序号:5391998
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本发明提供一种可有效地修复缺陷的缺陷修复装置(1),该缺陷修复装置(1)具备:固定所传送基板的基板载置台(3);从垂直于由基板载置台(3)固定的基板的方向来看、沿与基板的传送方向不同的方向配置并对基板上散在的缺陷喷射液滴的多个液滴喷射单元(...
该专利属于夏普株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过夏普株式会社授权不得商用。
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