缺陷修复装置、缺陷修复方法、程序及计算机可读记录介质制造方法及图纸

技术编号:5391998 阅读:169 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供一种可有效地修复缺陷的缺陷修复装置(1),该缺陷修复装置(1)具备:固定所传送基板的基板载置台(3);从垂直于由基板载置台(3)固定的基板的方向来看、沿与基板的传送方向不同的方向配置并对基板上散在的缺陷喷射液滴的多个液滴喷射单元(11);安装多个液滴喷射单元(11)的喷头架单元(7);以及使喷头架单元(7)沿着基板的传送方向相对等速移动的台架滑动机构(4),各个液滴喷射单元(11)根据表示基板上散在的多个缺陷的位置的数据,在喷头架单元(7)沿基板的传送方向移动期间,沿与传送方向不同的方向相互独立移动。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及根据基板上散在的缺陷的位置数据对缺陷进行修复的缺陷修 复装置、缺陷修复方法、程序以及计算机可读记录介质。
技术介绍
近年来,喷墨技术并不仅仅用作为在纸质介质上形成图像的打印机装置, 还期待其作为制造装置的用途。例如,专利文献1中,揭示了安装利用喷墨方式的液滴喷射元件的制造装置的结构,作为液晶显示器、有机 EL(Electroluminescence:电致发光)显示器、等离子体显示器、电子发射元件、 电泳显示装置等的制造装置。在该专利文献l中,为了提高对基板上的命中位 置的精度,将装置底座作为石平台,在石平台上分别直连设置沿同一方向传送 基板的平台、和使喷墨头在与平台的行进方向正交的方向上移动的滑架机构。在利用喷墨方式的常用打印机中,通常是使用一个喷墨头单元形成图像, 该喷墨头单元对每种颜色各安装有数个喷墨头元件作为喷射液滴的元件,其喷 嘴孔以150 300喷嘴/英寸的间隔规则排列,且宽度为l/2 2英寸。作为图像 形成方法,是一边用送纸轮传送记录纸, 一边在与记录纸的传送方向正交的方 向上多次将喷墨头单元进行扫描,从而在记录纸上形成图像。现状是,即使是在将该喷墨方式用本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种缺陷修复装置,其特征在于,具备: 固定所传送的基板的固定单元; 从垂直于由所述固定单元所固定的基板的方向来看、沿与所述基板的传送方向不同的方向配置并对所述基板上散在的缺陷喷射液滴的多个液滴喷射单元; 安装有所述多个液滴 喷射单元的一列以上的台架;以及 使所述台架沿着所述基板的传送方向相对等速移动的移动单元, 各液滴喷射单元根据表示所述基板上散在的多个缺陷的位置的数据,在所述台架沿所述基板的传送方向相对移动期间,沿与所述传送方向不同的方向相互独立 地移动。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:的场宏次田村寿宏中岛吉纪
申请(专利权)人:夏普株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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