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一种制造晶体管（３００）的方法，所述方法包括：在衬底（１０２）上形成栅极（１０１）；在栅极（１０１）的横向侧壁上以及在衬底（１０２）的相邻部分（２０２）上形成隔离物（２０１）；改变隔离物（２０１）的材料，使得改变后的隔离物（３０１）仅覆盖栅...
该专利属于ＮＸＰ股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ＮＸＰ股份有限公司授权不得商用。

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