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场效应晶体管制造技术
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文档序号:5390010
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提供一种场效应晶体管,该场效应晶体管包含栅电极(15)、源电极(13)、漏电极(14)和沟道层(11),以通过向栅电极(15)施加电压控制在源电极(13)和漏电极(14)之间流动的电流。沟道层(11)由包含In和Si并且具有不小于0.05且...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。
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