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本实用新型包含一种用于传送基板进出配置成容纳多块基板的腔室的系统。在一个实施方式中，该系统包含包括沿着垂直轴可独立移动的第一基板支撑溜槽和第二基板支撑溜槽的腔室外壳，以及可移动进出腔室外壳的基板输送装置。第一基板支撑溜槽和第二基板支撑溜槽可...
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