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本实用新型提供了一种硅片的研磨夹具，包括定位夹，夹紧板，夹紧装置，其中，所述夹紧装置包括座体、至少两个弹簧，所述座体固定设置在所述定位夹上，所述弹簧一端固定设置在所述座体上，另一端固定设置在所述夹紧板上，由于所述夹紧装置包括座体、弹簧，夹紧...
该专利属于镇江市港南电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过镇江市港南电子有限公司授权不得商用。

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