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用于显著地减少和／或防止等离子不受限制故障发生的方法和装置，包括利用介电防护结构防护在室部件之间并沿ＲＦ电流路径存在的间隙、利用介电防护结构遮蔽尖锐部件结构、以及将相邻等离子限制环对之间的间隙保持为小于该等离子的所述最坏情况德拜长度中的一种...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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