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本发明提供一种微机电系统（ＭＥＭＳ）装置，其包含衬底（２０）、阵列区域（阵列）及外围区域（互连）。所述阵列区域（阵列）包含下部电极（１６Ａ、１６Ｂ）、可移动上部电极（１４）及所述下部电极（１６Ａ、１６Ｂ）与所述上部电极（１４）之间的空腔（１...
该专利属于高通ＭＥＭＳ科技公司所有，仅供学习研究参考，未经过高通ＭＥＭＳ科技公司授权不得商用。

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