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文档序号:5377000

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本发明提供一种包括电特性高、能够实现截止电流的降低的薄膜晶体管的显示器件。具有薄膜晶体管的该显示器件包括:衬底;设置在该衬底上的栅电极;设置在栅电极上的栅极绝缘膜;设置在栅电极上的微晶半导体膜,栅电极与微晶半导体层之间插入有栅极绝缘膜;设置...
该专利属于株式会社半导体能源研究所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社半导体能源研究所授权不得商用。

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