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本发明的目的在于提供作为抗蚀剂的基本物性优异、并且形成接触孔图案时的圆形性和ＣＤ均匀性优异的放射线敏感性树脂组合物。本放射线敏感性树脂组合物是含有在酸的作用下成为碱可溶性的含有酸解离性基团的树脂（Ａ）、酸发生剂（Ｂ）和溶剂（Ｃ）的放射线敏感...
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