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一种蚀刻设备的反应槽装置的上电极，包含一个电极板，及多个嵌装固定于电极板中的陶瓷管。该电极板包括一个电极本体，该电极本体底面穿设有多个气孔，陶瓷管与气孔连通地分别同轴塞装固定于气孔中。通过在该电极本体的气孔中分别塞装陶瓷管的结构设计，可利用...
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