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一种涉及太阳能电池硅片加工领域的减少槽式去ＰＳＧ设备产生水渍的方法；所述的方法在不增加设备投资的情况下，通过工艺上的改进，利用具有快速挥发性的无水乙醇代替热水进行脱水，保证了硅片表面在经过脱水、烘干以及后道ＰＥＣＶＤ工序后，水渍比例由原来的...
该专利属于上海超日（洛阳）太阳能有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海超日（洛阳）太阳能有限公司授权不得商用。

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