下载一种单晶炉的石墨热场的技术资料

文档序号:5327424

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本实用新型提供了一种单晶炉的石墨热场,包括保温筒、导流筒、加热器,所述保温筒上设有多个排气孔,其中,所述导流筒由导流内层和导流外层组成,所述导流内层与所述导流外层之间设有间隙,由于所述导流筒由导流内层和导流外层组成,所述导流内、外层之间设有...
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