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氮化物半导体发光器件制造技术
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下载氮化物半导体发光器件的技术资料
文档序号:5309783
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本发明提供了一种氮化物半导体发光器件。该氮化物半导体发光器件,包括:III-V族氮化物半导体层;设置在III-V族氮化物半导体层中的腔;以及在腔的端面上形成的端面涂覆膜;其中,端面涂敷膜具有在其面对腔的端面的一侧上的氧化铝层,设置在端面涂覆...
该专利属于夏普株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过夏普株式会社授权不得商用。
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