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本实用新型涉及一种制备铜铟镓硒系列薄膜太阳电池光吸收层的硒化装置，包括反应腔体；反应腔体中有石英舟、基片加热器和两者之间的基片支架；连接在反应腔体上的抽真空系统；石英舟下方的加热炉，反应腔体外部有一个通过阀门与反应腔体连为一体的转换腔体；可...
该专利属于中国电子科技集团公司第十八研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第十八研究所授权不得商用。

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