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本发明涉及一种抗腐蚀金属掩膜制备方法，特别是一种抗氢氟酸腐蚀液腐蚀的金属掩膜制备方法。本发明的目的是解决现有掩膜腐蚀后存在的钻蚀孔、局部翘曲、起皮缺陷等问题。本发明具体包括如下步骤：ａ．清洗步骤：首先采用氢氟酸双氧水混合液或硫酸双氧水混合液...
该专利属于北京自动化控制设备研究所所有，仅供学习研究参考，未经过北京自动化控制设备研究所授权不得商用。

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