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一种涂胶显影机台制造技术
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文档序号:5249963
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本实用新型公开了一种涂胶显影机台,包含光阻容器,所述光阻容器上设置有输入管路、输出管路和排空管路,所述输入管路和输出管路上分别设置有检测管路内是否有气泡的输入端传感器和输出端传感器,所述排空管路上设置有用于检测排空管路内是否有气泡的排空端传...
该专利属于和舰科技(苏州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过和舰科技(苏州)有限公司授权不得商用。
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