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大尺寸Al2O3基晶体的二步法制备方法技术
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文档序号:5246150
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本发明公开了大尺寸Al2O3基晶体的二步法制备方法。将Al2O3粉料和掺杂粉料制成素坯棒,将素坯棒作为籽晶棒或料棒,使籽晶棒顶端或料棒末端与卤素灯处于同一水平线上;在空气氛围中,卤素灯以2720~3060W/h的功率输出,对素坯棒往复扫描加...
该专利属于北京工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京工业大学授权不得商用。
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