大尺寸Al2O3基晶体的二步法制备方法技术

技术编号:5246150 阅读:188 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开了大尺寸Al2O3基晶体的二步法制备方法。将Al2O3粉料和掺杂粉料制成素坯棒,将素坯棒作为籽晶棒或料棒,使籽晶棒顶端或料棒末端与卤素灯处于同一水平线上;在空气氛围中,卤素灯以2720~3060W/h的功率输出,对素坯棒往复扫描加热,直至素坯棒熔化、结晶,得到多晶料棒;将多晶料棒一根作为籽晶,一根作为原料棒,使原料棒末端与籽晶棒顶端接触,并且接触处与卤素灯处于同一在水平线上,在空气氛围中,卤素灯以3200~3400W/h的功率输出,籽晶和原料棒逆向旋转,原料棒和籽晶棒分别向下、向上移动通过熔区,进行晶体生长。本发明专利技术方法得到的晶体无杂质,小角度晶界较少,表现出良好的晶体质量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于晶体生长领域,具体涉及Al2O3基晶体的二步法制备方法。
技术介绍
刚玉由于具有高强度、高熔点、化学惰性和多种光学特性等物理性能,因此应用十 分广泛。不掺杂的α -Al2O3的称为白宝石,掺Cr2O3的Al2O3晶体呈红色,通常称之为红宝石, 红宝石以外的其他颜色的刚玉通称为(彩色)蓝宝石,如无色蓝宝石,蓝色蓝宝石,黄色蓝 宝石,粉红蓝宝石,绿色蓝宝石,橙色蓝宝石,紫色蓝宝石。掺杂不同元素的Al2O3晶体呈现 不同的颜色,由于其独特的物理化学性能在工业、装饰、医疗器械、光学等领域发挥日益重 要的作用。作为装饰宝石,掺上不同元素可制成名贵的天然红宝石、蓝宝石以及其他颜色的 宝石和星芒宝石的仿制品;作为超硬材料广泛用作钟表工业耐磨轴承和永不磨损的表蒙; 作为稳定的惰性材料可用作耐磨蚀的化学器皿、外延基片和医用植入材料;作为光学介质, 宝石是性能优良的红外窗口材料;作为激光材料,钛宝石则是激光晶体中的一颗新星,它是 目前最好的可调谐激光晶体。白宝石(a-Al2O3)晶体具有一系列独特而优良的物理化学性 能,特别是0. 2 0. 5 μ m波段有良好透光性,一直广泛应用于红外军事装备、卫星和空间技 术的仪表及高功率激光器(如HF、DF、CO2激光器)的窗口材料,近来又成为重力波探测器 中光学系统的首先材料。光学浮区法是近年来得到迅速发展的一种晶体生长方法,其应用范围也越来越广 泛。可用于生长钒酸盐激光晶体,铝酸盐激光晶体,以及超导等多种功能晶体。与提拉法和 坩埚下降法等常规晶体生长方法相比,光学浮区法最独特的地方在于实现了无坩埚生长, 这就避免了原料与坩埚的污染,因此对于易污染的材料生长提供了一种有效途径。浮区法 属于熔体生长一种方法,在生长的晶体和多晶棒之间形成一段熔区,熔区的稳定是靠表面 张力和重力的平衡来维持的。熔区自上而下,或者自下而上移动,以完成结晶过程。浮区法 生长晶体的加热源有RF感应加热,放电,电弧,电阻加热,光聚焦。光聚焦作为加热源的晶 体生长方法称为光学浮区法,它是将光源发出的光,经过聚焦作为热源,送到被加热的多晶 样品上,待多晶熔化以后,生长晶体。浮区法浮区法具有加热温度不受坩埚熔点限制,并且 生长速度较快等优点,被广泛应用于高温难熔氧化物和金属间化合物生长。二步法(Two Zone Passage)属于光学浮区法(Optical Floating Zone Method) 生长晶体的一种改良方法,主要见于高熔点的硼化物晶体的生长。在二步法中,第一步目的 在于得到致密的料棒,第二步在于得到高质量的晶体。(TanakaJ. ;Sato,Α. ;Takenouchi, S. ;Kamiya,K. ;Numazawa,Τ· ,Floating—zone crystal growth of Nb—doped YB66 for soft X-ray monochromator use. Journal of Crystal Growth 2005,275(1-2),1889-1893.)。 Al2O3基晶体一般制备困难、周期长,例如掺Cr2O3的红宝石主要采用温度梯度的法,或者水 热法生长制备;白宝石(Ci-Al2O3)晶体主要采用提拉法或导向温梯法制备。这些方法一般 都用烧结炉烧结,烧结时间较长,通常至少需要数小时烧结过程不易控制,易导致元素挥 发;烧结时需要坩埚,易造成高温烧结时的杂质污染。Al2O3基晶体中,蓝色蓝宝石和粉红蓝3宝石最为希贵,关于其报道也最多。相反,其他宝石晶体,如Ni=Al2O3晶体、Fe = Al2O3晶体报 道很少,其合成工艺方法、掺杂比例、性能用途的报道很少,其二步法生长工艺更是未见报 道。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种二步法的,在常压、空气环境下,不需烧结,以普通工 业粉料作为原料,操作简单,快速制备大尺寸的Al2O3基晶体的工艺方法。采用浮区法晶体 生长炉的卤素灯作为加热源加热Al2O3基料棒坯体,得到多晶料棒,并以此多晶料棒为籽晶 棒和原料棒,快速制备大尺寸Al2O3基晶体。为了解决上述技术问题,本专利技术是通过以下方 案实现的(1)将Al2O3粉料和不同掺杂量掺杂粉料置于球磨罐中,球磨,烘干,过筛。(2)将(1)中制得粉料装入长条橡胶气球中压实,将装有粉料的橡胶球置于等静 压下制成素坯棒。(3)将⑵中制得素坯棒固定于单晶炉的籽晶杆上作为籽晶棒,调节籽晶棒位置, 使籽晶棒顶端与卤素灯处于同一水平线上;或者将步骤(2)制得素坯棒悬挂于原料杆上作 为料棒,调节料棒位置,使料棒末端与卤素灯处于同一水平线上;(4)在空气氛围中,单晶炉的卤素灯以2720 3060W/h的功率输出,籽晶棒或料棒 20 30rpm旋转,料棒以20 30mm/h的速率向下或籽晶棒以20 30mm/h的速率向上移 动通过卤素灯加热区域,卤素灯对料棒或籽晶棒进行往复扫描加热,直至料棒或籽晶棒熔 化,结晶,得到致密的多晶料棒。(5)将中制得多晶料棒一根固定于单晶炉的籽晶杆上作为籽晶棒,一根悬挂 于原料杆上作为原料棒,调节籽晶杆、原料杆位置,使原料棒末端与籽晶棒顶端接触,并且 接触处与卤素灯处于同一在水平线上,两料棒在竖直方向上成一条直线。 (6)在空气氛围中,单晶炉的卤素灯以3200 3400W/h的功率输出,籽晶棒和原料 棒逆向旋转,旋转速度分别为15 20rpm,并且原料棒和籽晶棒分别以3 5mm/h的速率向 下、向上移动通过熔区,进行晶体生长,晶体生长完成后,在1 池时间内将卤素灯输出功 率降至0,最终Al2O3基晶体包括!^Al2O3晶体或Ni=Al2O3晶体。步骤⑴所述的掺杂粉料为NiO粉料或!^e2O3粉料,NiO粉料的掺杂量为l-6wt%, Fe2O3粉料掺杂量为0. l-2wt%。本专利技术工艺的明显优点(1)本工艺采用二步法制备出Ni:Al203,FeiAl2O3晶体,晶体掺杂均勻,尺寸较大, NiiAl2O3晶体尺寸直径可达6 7mm,长度60 80mm,Fe = Al2O3晶体尺寸直径可达6 0mm, 长度70 80mm,没有裂纹、气泡。粉末χ射线衍射图,扫描电镜形貌图,偏光显微镜形貌图 表明试样相纯,无杂质,小角度晶界较少,表现出良好的晶体质量。(2)本工艺原料为普通工业粉料,对原料要求宽松,不需要籽晶,无需坩埚,大大降 低制备成本。(3)本工艺多晶料棒不需要预烧,通过卤素灯加热得到致密多晶料棒,避免了掺杂 元素在预烧过程中的挥发,污染少,耗时短。(4)应用本工艺所生长晶体操作简单,只需在制备多晶料棒时调节籽晶棒或料棒4的位置、移动速率和方向,调节单晶炉卤素灯输出功率;在晶体生长开始前调节好籽晶棒和 原料棒的位置,生长过程中调节旋转速率、生长速度,单晶炉卤素灯输出功率。(5)不需要特殊气氛、压强环境,只需在常压、空气分氛即可完成晶体生长,工艺简 化。(6)本工艺生长速度快(3 5mm/h),制备周期短,效率高。(7)所用仪器简单,仅需要光学浮区法晶体生长炉、球磨机、等静压力机。附图说明图1是实施侈图2是实施侈图3是实施侈图4是实施侈图5是实施侈图6是实施侈图7是实施侈图8是实施侈图9是实施侈图10是实施图11是实施INiiAl2O3晶体粉末的X射线衍本文档来自技高网
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【技术保护点】
大尺寸Al↓[2]O↓[3]基晶体的二步法制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)将Al↓[2]O↓[3]粉料和掺杂粉料置于球磨罐中,球磨,烘干,过筛;(2)将(1)中制得粉料装入长条橡胶气球中压实,将装有粉料的橡胶球置于等静压下制成素坯棒;(3)将(2)中制得素坯棒固定于单晶炉的籽晶杆上作为籽晶棒,调解籽晶棒位置,使籽晶棒顶端与卤素灯处于同一水平线上;或者将步骤(2)制得素坯棒悬挂于原料杆上作为料棒,调节料棒位置,使料棒末端与卤素灯处于同一水平线上;(4)在空气氛围中,单晶炉的卤素灯以2720~3060W/h的功率输出,籽晶棒或料棒以20~30rpm旋转,料棒以20~30mm/h的速率向下或籽晶棒以20~30mm/h的速率向上移动通过卤素灯加热区域,卤素灯对料棒或籽晶棒进行往复扫描加热,直至料棒或籽晶棒熔化,结晶,得到致密的多晶料棒;(5)将(4)中制得多晶料棒一根固定于单晶炉的籽晶杆上作为籽晶棒,一根悬挂于原料杆上作为原料棒,调节籽晶杆、原料杆位置,使原料棒末端与籽晶棒顶端接触,并且接触处与卤素灯处于同一在水平线上,两料棒在竖直方向上成一条直线;(6)在空气氛围中,单晶炉的卤素灯以3200~3400W/h的功率输出,籽晶棒和原料棒逆向旋转,旋转速度分别为15~20rpm,并且原料棒和籽晶棒分别以3~5mm/h的速率向下、向上移动通过熔区,进行晶体生长,晶体生长完成后,在1~2h时间内将卤素灯输出功率降至0,最终Al↓[2]O↓[3]基晶体包括Fe:Al↓[2]O↓[3]晶体或Ni:Al↓[2]O↓[3]晶体。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:王越范修军徐宏蒋毅坚
申请(专利权)人:北京工业大学
类型:发明
国别省市:11[中国|北京]

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