下载一种单晶炉及抑制单晶炉的软轴摆动的方法的技术资料

文档序号:5239785

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本发明公开一种单晶炉和抑制单晶炉的软轴摆动的方法。公开的单晶炉包括炉体、提拉装置、坩埚和软轴;还包括控制器、位置监测器和位于炉体外的至少一个磁场发生器;软轴的上端与坩埚形成直流导电回路;控制器输入端与位置监测器相连,位置监测器获取软轴的位置...
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