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一种铜柱图形转移制作方法技术
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文档序号:5214458
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本发明公开了一种铜柱图形转移制作方法,解决现有技术中存在的在图形电镀铜柱时铜柱与金属层结合紧密,在后工序制作过程中降低漏镀、剥离脱落等问题,以实现层间互连畅通。本发明的方法具体为:将感光抗蚀剂贴附于金属层表面,形成感光图形;进行热固化,加固...
该专利属于北大方正集团有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北大方正集团有限公司授权不得商用。
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