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本发明提供一种防尘薄膜组件，能够容易地将粘着剂层从光掩模和防尘薄膜组件框架之间除去，从而从光掩模剥离。在防尘薄膜组件框架（１１）的一表面（１２）上，仅在从所述防尘薄膜组件框架的内侧开始至所述防尘薄膜组件框架（１１）的宽度的８０％以下的区域形...
该专利属于信越化学工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过信越化学工业株式会社授权不得商用。

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