下载薄片处理系统及其控制方法以及薄片处理设备的技术资料

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一种薄片处理系统及其控制方法以及薄片处理设备。该薄片处理系统能够基于通过将薄片输送至下游薄片处理设备而发生的横向偏移量,在上游薄片处理设备中进行薄片的横向偏移校正。堆叠器的端部传感器检测输送至堆叠器的薄片的横向偏移量。堆叠器控制器利用移位单...
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