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一种压阻式高频高温动态压力传感器，由压阻敏感组件、传感器金属壳体和高频宽带放大器组成，压阻敏感组件由硅压阻敏感元件和玻璃环片组成，硅压阻敏感元件由圆平硅膜片的正面依次覆盖有ＳｉＯ２层和Ｓｉ３Ｎ４层形成，硅压阻敏感元件正面中部设有惠斯顿电桥而...
该专利属于昆山双桥传感器测控技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山双桥传感器测控技术有限公司授权不得商用。

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