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一种微致动器校正方法，是设定参考反射面；物镜在微致动器中循轨方向移动数个校正位置，一一进行聚焦行程，并记录平移电压与聚焦电压；设定一校正位置的聚焦电压为基准聚焦电压，计算其它校正位置聚焦电压对基准聚焦电压的偏移量；利用各校正位置的偏移量及平...
该专利属于广明光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广明光电股份有限公司授权不得商用。

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