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本发明涉及一种电弧离子镀ＣＮ薄膜的方法，属于表面工程技术领域。在石墨电弧源工作的过程中，通过离子源辅助引入Ｎ元素，从而制备了ＣＮ薄膜；通过调节Ｎ２气流量和石墨电弧源的工作频率，可以改变ＣＮ薄膜中的Ｎ含量，获得综合性能优异的耐磨损ＣＮ薄膜；Ｃ...该专利属于中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所授权不得商用。