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本发明公开一种气体分布板，其提供至少两种气体通道。在一实施例中，该气体分布板具有一第一通道、至少一开设于该第一通道周围的第二通道以及一锥形开孔，该锥形开孔与该第一通道以及该第二通道相连通。在另一实施例中，该气体分布板，具有一贯通该分布板第一...
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