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本发明将盖体可靠地固定于容器本体，同时能轻易进行各部的清洗、干燥，抑制震动所造成的半导体晶片旋转。本发明的生产线用盖体１５可塞住薄板支持容器１１的容器本体１２。简易装卸机构３２，可伸出而接合于容器本体侧上的接合构件４２，连结于接合构件且能伸...
该专利属于未来儿株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过未来儿株式会社授权不得商用。

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