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本实用新型涉及一种光电子器件用微机电系统芯片测试台，主要包括光束纤准直器、输入光纤、输出光纤、托盘和五维调节架五部分，其中输入光纤和输出光纤连接在光束准直器上，光束准直器固定在支撑架上，待测芯片固定在底座上后放置在托盘上，托盘通过连接杆ａ固...
该专利属于北京波联汇成科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京波联汇成科技有限公司授权不得商用。

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