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本实用新型为一种半导体晶片单面抛光机用抛光盘，包括用于支承抛光盘的抛光机主轴承基座，其特征在于：所述的抛光盘为大理石材质的抛光盘，表面研磨平整，抛光盘采用螺栓固定，直接安装在抛光机主轴承基座上。本实用新型采用大理石材质作为抛光盘，省却了冷却...
该专利属于上海致联国际贸易有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海致联国际贸易有限公司授权不得商用。

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