下载BOSA收发光器件TO-CAN同轴小型化封装方法的技术资料

文档序号:5154666

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本发明涉及一种用于半导体光电器件领域的BOSA收发光器件TO-CAN同轴小型化封装方法。本发明的方法是:a.对铁镍钴合金材料的TO-CAN底座表面镀金,在焊接了氮化铝热沉的TO-CAN底座上设置用于导热的Case点;b.采用薄膜溅射工艺对氮...
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