下载基板输送装置的技术资料

文档序号:5151125

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一种基板输送装置,其包括有一蚀刻槽、横向且间隔排列于该蚀刻槽间的数根输送轮轴,以及纵向跨设各输送轮轴上的至少一抬升组件,输送轮轴横向间隔排列地枢设于蚀刻槽的两相对壁面之间,每一输送轮轴上靠近两端处分别固设有一输送轮,抬升组件纵向跨设各输送轮...
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