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本发明公开了一种改善太阳能电池磷扩散均匀性的方法，其步骤包括：（１）将硅片放于扩散炉中，炉内各区温度均升至７００～７８０℃，炉内环境为均匀的氮气气氛，氮气流量８Ｌ／ｍｉｎ～３０Ｌ／ｍｉｎ；（２）待温度稳定后，同时通入携磷源气体０．８Ｌ／ｍｉ...该专利属于苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯（中国）投资有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯（中国）投资有限公司授权不得商用。