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使用芯片的检查装置制造方法及图纸
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下载使用芯片的检查装置的技术资料
文档序号:5087697
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本发明提供一种使用芯片的检查装置,抑制了对检测样品所用的测光部等光学部件的异物附着。该使用芯片的检查装置,具备:转子(5),保持芯片(4);测量室(7),收存转子(5),并设置贯穿孔(71);光源(84),穿过贯穿孔(71),对芯片(4)照...
该专利属于优志旺电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过优志旺电机株式会社授权不得商用。
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