下载使用芯片的检查装置的技术资料

文档序号:5087697

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本发明提供一种使用芯片的检查装置,抑制了对检测样品所用的测光部等光学部件的异物附着。该使用芯片的检查装置,具备:转子(5),保持芯片(4);测量室(7),收存转子(5),并设置贯穿孔(71);光源(84),穿过贯穿孔(71),对芯片(4)照...
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