下载光伏多晶硅铸锭炉保温罩多轴同步提升装置的技术资料

文档序号:5083404

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本实用新型涉及光伏多晶硅铸锭炉保温罩多轴同步提升装置,属于光伏多晶硅铸锭炉的保温罩自动化控制技术领域,该装置包括一台多轴运动控制器、三个伺服驱动器、三个伺服电机及其传动机构,三套提升机构;该多轴运动控制器通过运动控制总线分别与三个伺服驱动器...
该专利属于清华大学;江西旭阳雷迪高科技股份有限公司;江苏华盛天龙光电设备股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学;江西旭阳雷迪高科技股份有限公司;江苏华盛天龙光电设备股份有限公司授权不得商用。

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