下载集成ESD保护的功率MOSFET或IGBT及制备方法的技术资料

文档序号:5082503

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本发明是对集成ESD保护的功率MOSFET或IGBT改进,其特征是ESD保护单元的多晶二极管组中各P型区浓度与功率MOSFET或IGBT的P阱浓度相同,各N型区浓度与功率MOSFET或IGBT的N+源相同;多晶二极管组在栅极压焊区与元胞区间...
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