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矩形硅薄膜微机电压力传感器是一种采用矩形的Ｐ型半导体硅薄层的微机电压力传感器结构，传感器的最下层是用于密闭空腔的玻璃基片，玻璃基片之上是Ｎ型硅衬底，靠近玻璃基片的Ｎ型硅衬底背面具有矩形空腔，在矩形空腔上是硅薄膜，矩形的Ｐ型掺杂薄层覆盖整个硅...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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